德州新聞網(wǎng)訊 （記者 張志寧 通訊員 安楊 李芝）近日，省發(fā)改委受國家發(fā)改委委托對山東禹王實業(yè)有限公司承建的單晶硅外延基座研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目進行了驗收。

　該項目總投資5554萬元，新增建筑面積11280平方米；購置設(shè)備326臺（套），建設(shè)了4條CVD生產(chǎn)線，年產(chǎn)單晶硅外延用和氮化鎵外延用碳化硅涂層石墨基座2.1萬套，2009年3月列入國家發(fā)改委電子信息產(chǎn)業(yè)振興和技術(shù)改造專項。

　該項目突破了石墨基座碳化硅涂層的化學(xué)氣相沉積技術(shù)，建成了目前國內(nèi)直徑最大的碳化硅沉積爐，獲得國家發(fā)明專利1項，填補了我國微電子、光電子半導(dǎo)體外延材料生產(chǎn)所需特種陶瓷基座的空白，實現(xiàn)半導(dǎo)體生產(chǎn)中關(guān)鍵易耗部件的國產(chǎn)化。