有研半導(dǎo)體生產(chǎn)車間。記者 路龍帥 攝
德州新聞網(wǎng)訊(牟金文)日前,中國有色金屬工業(yè)協(xié)會、中國有色金屬學(xué)會聯(lián)合發(fā)布《關(guān)于頒發(fā)2020年度中國有色金屬工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎的通知》,山東有研半導(dǎo)體的IGBT用8英寸硅襯底拋光片項目獲得2020年度中國有色金屬工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎二等獎。
據(jù)了解,IGBT用8英寸硅襯底拋光片項目的實施,突破了完整8英寸硅單晶生長、8英寸硅片精密加工等關(guān)鍵技術(shù),解決了晶體微缺陷控制、硅片幾何參數(shù)精密控制的技術(shù)難題,研制出晶體微缺陷極少、幾何參數(shù)高度精密的高品質(zhì)8英寸輕摻硅片,打破了國外技術(shù)壁壘,完全實現(xiàn)進口替代,形成了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的一系列核心技術(shù)。項目整體技術(shù)達到國際先進水平,其中部分指標(biāo)達到國際領(lǐng)先水平。
據(jù)悉,項目成功實施成果轉(zhuǎn)化,實現(xiàn)了可觀的經(jīng)濟效益,并填補了國內(nèi)IGBT用8英寸硅襯底拋光片產(chǎn)品的技術(shù)空白,批量生產(chǎn)的產(chǎn)品進入市場,累計銷售超過30萬片,銷售額近億元,前景良好。同時項目成果輻射帶動了相關(guān)配套產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,提升了項目單位現(xiàn)有8英寸硅材料的產(chǎn)品質(zhì)量和技術(shù),產(chǎn)品在國際上呈現(xiàn)了較好的競爭力,促進了我國高端半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的完善,使我國半導(dǎo)體設(shè)備部件和設(shè)備部件用高端硅材料逐步擺脫對國外的依賴,提升了國家競爭力和戰(zhàn)略地位,保障國內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)的持續(xù)健康發(fā)展。
2020年8月,山東有研半導(dǎo)體材料有限公司傳出好消息:8英寸半導(dǎo)體級直拉硅單晶一次性拉制成功!該公司副總經(jīng)理劉斌興奮不已:這是在德州經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)新廠區(qū)使用新設(shè)備生產(chǎn)的,是山東省首根半導(dǎo)體級8英寸直拉硅單晶,標(biāo)志著該產(chǎn)品在德州量產(chǎn)邁出了關(guān)鍵一步。
2020年10月16日,山東有研半導(dǎo)體材料有限公司舉行集成電路用大尺寸硅材料規(guī)?;a(chǎn)項目通線量產(chǎn)儀式,中國工程院院士屠海令宣布項目正式通線量產(chǎn)。
在山東有研順利投產(chǎn)的背后,離不開經(jīng)開區(qū)一系列給力的舉措:壓縮項目落地時限實現(xiàn)“拿地即開工”,一條龍服務(wù)配套設(shè)施“辦得好”,創(chuàng)新機制早餐例會督進度等。