德州新聞網(wǎng)訊（記者李榕通訊員韓哲）6月12日，位于天衢新區(qū)的山東有研艾斯“12英寸集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”首臺(tái)設(shè)備進(jìn)場(chǎng)，目前該項(xiàng)目廠房建設(shè)基本完成，已進(jìn)入設(shè)備搬入及工藝調(diào)試階段。

“12英寸集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目”是山東省重點(diǎn)項(xiàng)目，項(xiàng)目在北京建有研發(fā)中心及中試線，堅(jiān)持產(chǎn)品研發(fā)、客戶認(rèn)證等工作與量產(chǎn)項(xiàng)目建設(shè)同步進(jìn)行，產(chǎn)品技術(shù)水平實(shí)現(xiàn)預(yù)期目標(biāo)，已通過(guò)多家客戶認(rèn)證，目前出貨量達(dá)到每月4萬(wàn)片。該項(xiàng)目總投資62億元，其中一期項(xiàng)目投資25億元，建筑面積7.5萬(wàn)平方米，已完成主體及配套設(shè)施建設(shè)，預(yù)計(jì)10月份將完成全部設(shè)備搬入，實(shí)現(xiàn)通線量產(chǎn)。一期項(xiàng)目投產(chǎn)后，12英寸硅片產(chǎn)能將達(dá)到每年120萬(wàn)片，填補(bǔ)我國(guó)極大規(guī)模集成電路產(chǎn)業(yè)硅襯底基礎(chǔ)材料空白。