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德州躋身“能生產(chǎn)12英寸大硅片的城市”

3 年“長了”4 英寸 全國第 5 個

德州躋身“能生產(chǎn)12英寸大硅片的城市”

德州新聞網(wǎng)訊(記者 王志強 李榕 通訊員 韓哲)3年“長了”4英寸,德州成為全國第5個能生產(chǎn)12英寸大硅片的城市。1月14日,參加市政協(xié)十五屆三次會議的市政協(xié)委員、山東有研半導體材料有限公司常務(wù)副總經(jīng)理劉斌表示,有研項目落戶德州以來,8英寸硅片項目穩(wěn)健經(jīng)營,12英寸硅片和高純?yōu)R射靶材項目相繼投產(chǎn),德州已成為國內(nèi)生產(chǎn)集成電路關(guān)鍵材料的重要基地。他建議,德州可依托現(xiàn)有龍頭企業(yè),補鏈強鏈,讓集成電路關(guān)鍵材料“山東造”走向全球。

有研在德州的快速發(fā)展,是德州新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)的一個縮影。2018年,有研集成電路用大尺寸硅材料規(guī)?;仨椖柯鋺舻轮?,2019年,12英寸硅片產(chǎn)業(yè)化項目落戶德州。2020年10月,8英寸集成電路用硅片項目通線量產(chǎn);3年后,12英寸集成電路用大硅片生產(chǎn)線通線。

位于天衢新區(qū)的山東有研艾斯半導體材料有限公司無塵車間內(nèi),單晶硅棒被切割成1毫米厚的硅片,經(jīng)過倒角、研磨、拋光等40余道工序后,準備出廠。談起硅片,山東有研艾斯總經(jīng)理閆志瑞滿臉自豪:“我們是山東省內(nèi)唯一生產(chǎn)12英寸大硅片的企業(yè),生產(chǎn)線一期總投資25億元,目前月產(chǎn)能為10萬片,技術(shù)水平國內(nèi)領(lǐng)先?!?/p>

“從8英寸躍升到12英寸,不僅僅是個頭的變化?!遍Z志瑞直言,硅片直徑越大,對硅片生產(chǎn)的技術(shù)、工藝、設(shè)備、原材料等要求就越高。山東有研艾斯攻克了單晶微缺陷、硅片平整度、表面沾污等關(guān)鍵技術(shù)難題,目前12英寸大硅片已在國內(nèi)外多家知名集成電路制造企業(yè)開展產(chǎn)品驗證。

硅片“長個”的背后,是德州良好的營商環(huán)境。德州把新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)作為“一號產(chǎn)業(yè)鏈”,市委主要負責同志任產(chǎn)業(yè)鏈鏈長,在產(chǎn)業(yè)鏈推進機制下,產(chǎn)業(yè)服務(wù)不斷優(yōu)化,企業(yè)涉及的用水用電、日常經(jīng)營、人才安置等問題都得到高效解決。 

好環(huán)境“拉流量”,有研項目接二連三落戶。2018年以來,中國有研科技集團在德州投資近百億元,落地7個大項目,涉及大尺寸硅片、高純?yōu)R射靶材、刻蝕設(shè)備用硅材料等領(lǐng)域,德州成為該企業(yè)在全國投資布局規(guī)模最大、業(yè)務(wù)領(lǐng)域最廣的科技成果轉(zhuǎn)化基地。

硅片“長個”的同時,也拉長了產(chǎn)業(yè)鏈。

近年來,德州新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛。一批高端優(yōu)質(zhì)項目先后落子布局,全市新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)現(xiàn)有規(guī)上企業(yè)123家,初步形成了硅材料、芯片設(shè)計、封裝測試、終端應(yīng)用等較為完整的產(chǎn)業(yè)鏈,去年實現(xiàn)主營業(yè)務(wù)收入300億余元。

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