德州新聞網(wǎng)訊(記者李榕通訊員韓哲)6月12日,位于天衢新區(qū)的山東有研艾斯“12英寸集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)化項目”首臺設(shè)備進(jìn)場,目前該項目廠房建設(shè)基本完成,已進(jìn)入設(shè)備搬入及工藝調(diào)試階段。
“12英寸集成電路用大硅片產(chǎn)業(yè)化項目”是山東省重點項目,項目在北京建有研發(fā)中心及中試線,堅持產(chǎn)品研發(fā)、客戶認(rèn)證等工作與量產(chǎn)項目建設(shè)同步進(jìn)行,產(chǎn)品技術(shù)水平實現(xiàn)預(yù)期目標(biāo),已通過多家客戶認(rèn)證,目前出貨量達(dá)到每月4萬片。該項目總投資62億元,其中一期項目投資25億元,建筑面積7.5萬平方米,已完成主體及配套設(shè)施建設(shè),預(yù)計10月份將完成全部設(shè)備搬入,實現(xiàn)通線量產(chǎn)。一期項目投產(chǎn)后,12英寸硅片產(chǎn)能將達(dá)到每年120萬片,填補我國極大規(guī)模集成電路產(chǎn)業(yè)硅襯底基礎(chǔ)材料空白。