有研億金高純?yōu)R射靶材項(xiàng)目1號(hào)生產(chǎn)車(chē)間。記者劉振興攝
有研億金高純?yōu)R射靶材項(xiàng)目。記者劉振興攝
——有研億金高純?yōu)R射靶材項(xiàng)目投產(chǎn)背后的4件暖心事
記者李榕劉瀟通訊員韓哲夏貞寶
9月20日，有研億金集成電路用高純?yōu)R射靶材項(xiàng)目投產(chǎn)儀式在天衢新區(qū)舉行，標(biāo)志著該項(xiàng)目正式通線(xiàn)量產(chǎn)。
有研億金集成電路用高純?yōu)R射靶材項(xiàng)目總投資6億元，建筑面積4.3萬(wàn)平方米，達(dá)產(chǎn)后年產(chǎn)能達(dá)到4.3萬(wàn)塊，銷(xiāo)售收入9億元。這是中國(guó)有研科技集團(tuán)在我市投資的第4個(gè)項(xiàng)目，也是今年在我市新開(kāi)工、投產(chǎn)的第2個(gè)項(xiàng)目。項(xiàng)目投產(chǎn)后，德州市將成為華北地區(qū)最大的集成電路用高純?yōu)R射靶材生產(chǎn)基地。
“該項(xiàng)目主要以生產(chǎn)高純銅、銅合金、鉭、鈷等多種材質(zhì)靶材為主，主要用于12英寸大尺寸晶圓制造。通過(guò)PVD基臺(tái)，可以將靶材沉積到晶圓上，用于晶圓制造的‘金屬化’過(guò)程，可實(shí)現(xiàn)電子元器件的互聯(lián)等功能?！庇醒袃|金新材料（山東）有限公司副總經(jīng)理萬(wàn)小勇稱(chēng)，有研億金研發(fā)團(tuán)隊(duì)歷經(jīng)多年技術(shù)攻關(guān)，將銅、銅合金等靶材用金屬的純度提煉到了99.9999%以上，開(kāi)發(fā)的12英寸系列靶材成功用于國(guó)內(nèi)先進(jìn)制程邏輯芯片和存儲(chǔ)芯片，是國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、全球少數(shù)幾家掌握集成電路用高純?yōu)R射靶材垂直一體化成套制備技術(shù)的企業(yè)。該項(xiàng)目投產(chǎn)后，企業(yè)的市場(chǎng)份額力爭(zhēng)占據(jù)世界集成電路用靶材領(lǐng)域的20%以上，生產(chǎn)規(guī)模達(dá)到世界前三水平，能夠有效解決高端芯片制造靶材“卡脖子”問(wèn)題。
談及項(xiàng)目的順利投產(chǎn)，有研億金新材料（山東）有限公司總經(jīng)理滕海濤用“頂格”二字為天衢新區(qū)的服務(wù)點(diǎn)贊。
項(xiàng)目建設(shè)期間，有4件暖心事令滕海濤印象深刻。
第一件事：部門(mén)靠前服務(wù)，項(xiàng)目“拿地即開(kāi)工”。
在項(xiàng)目辦理施工許可階段，天衢新區(qū)行政審批部門(mén)提前為其出具樁基開(kāi)工證，實(shí)行“產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目‘雙線(xiàn)并行’審批機(jī)制”，即一條線(xiàn)辦理土地征收出讓手續(xù)，一條線(xiàn)辦理項(xiàng)目立項(xiàng)、環(huán)評(píng)、規(guī)劃等手續(xù)，使項(xiàng)目提前3個(gè)月進(jìn)場(chǎng)施工。
不僅是有研億金靶材項(xiàng)目，在有研“軍團(tuán)”中，有研12英寸硅片、有研艾斯項(xiàng)目均是“產(chǎn)業(yè)項(xiàng)目‘雙線(xiàn)并行’審批機(jī)制”的受益者。目前，全區(qū)有80余個(gè)項(xiàng)目因此受益。
第二件事：召開(kāi)專(zhuān)題推進(jìn)會(huì)，解決項(xiàng)目大門(mén)開(kāi)設(shè)難題。
此前，項(xiàng)目方計(jì)劃在東方紅路段開(kāi)設(shè)北大門(mén)，便于人員和施工材料進(jìn)場(chǎng)。區(qū)行政審批部聯(lián)合9部門(mén)到現(xiàn)場(chǎng)集中勘查，組織召開(kāi)專(zhuān)題推進(jìn)會(huì)，對(duì)大門(mén)規(guī)劃設(shè)計(jì)和水、燃?xì)夤芫W(wǎng)、電力設(shè)施改造等問(wèn)題提出可行性意見(jiàn)和解決方案。并成立專(zhuān)班推進(jìn)，及時(shí)解決項(xiàng)目方訴求。
第三件事：2天內(nèi)解決生產(chǎn)設(shè)備進(jìn)場(chǎng)調(diào)試難題。
企業(yè)設(shè)備進(jìn)場(chǎng)調(diào)試需具備1萬(wàn)千伏安的用電負(fù)荷需求，但當(dāng)時(shí)項(xiàng)目現(xiàn)場(chǎng)是臨時(shí)用電，無(wú)法滿(mǎn)足。幫包單位天衢新區(qū)投資促進(jìn)部堅(jiān)持特事特辦、快事快辦，當(dāng)即協(xié)調(diào)電力部門(mén)，籌建行動(dòng)小組，建設(shè)組合式變電站，為設(shè)備調(diào)試提供保障，整個(gè)過(guò)程僅用了2天時(shí)間。
第四件事：為企業(yè)申請(qǐng)人才公寓，團(tuán)隊(duì)人員心無(wú)旁騖干事業(yè)。
項(xiàng)目建設(shè)過(guò)程中，有研億金北京總部派出40余名核心技術(shù)骨干，入駐天衢新區(qū)支援項(xiàng)目建設(shè)，吃飯、住宿成了一大難題。新區(qū)想在企業(yè)前面，區(qū)投資促進(jìn)部積極協(xié)調(diào)20余套人才公寓，解除了企業(yè)的后顧之憂(yōu)。萬(wàn)小勇是團(tuán)隊(duì)中的一員，他直言：“來(lái)了半年多，最大的感受是環(huán)境好、服務(wù)優(yōu)、效率高！”
近年來(lái)，天衢新區(qū)牢固樹(shù)立“項(xiàng)目為王”工作理念，用活用好省市支持新區(qū)發(fā)展政策，持續(xù)深化“放管服”改革，聚焦重點(diǎn)領(lǐng)域和關(guān)鍵環(huán)節(jié)，緊緊圍繞項(xiàng)目全生命周期服務(wù)、創(chuàng)新審批機(jī)制、提高項(xiàng)目落地效率等方面抓突破，創(chuàng)新“快入準(zhǔn)營(yíng)”模式，打造營(yíng)商環(huán)境“金名片”?！暗轮菖c有研科技集團(tuán)的合作亮點(diǎn)頻現(xiàn)，有研億金集成電路用高純?yōu)R射靶材項(xiàng)目的投產(chǎn)，將進(jìn)一步延伸新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈條、提升產(chǎn)業(yè)層次和水平，助力德州打造‘全國(guó)重要的集成電路關(guān)鍵材料基地’。下一步，新區(qū)將繼續(xù)頂格推進(jìn)招商引資和重大項(xiàng)目建設(shè)等重點(diǎn)工作，讓企業(yè)引得來(lái)、留得住、發(fā)展好?！笔形Ｎ?、天衢新區(qū)黨工委書(shū)記祁小青說(shuō)。